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自控所MEMS陀螺“对德合作”首期项目圆满完成

作者:王猛 王刚 发布时间:2016-12-1 11:08:12

    MEMS陀螺是高精度MEMS传感器中技术难度最高的器件之一,也是惯性技术储备和技术发展的重要方向。早在2009年,自控所就与德国弗朗霍夫研究院电子纳米系统研究所(Fraunhofer ENAS)在MEMS陀螺领域开展了全方位的技术合作。多年来解决了多项技术瓶颈,在引进前瞻技术和国家战略需求的关键技术方面也取得了重大进展。2016年11月2日至3日,ENAS来自控所进行了为期两天的访问,MEMS陀螺交付样机也通过最终交付验收,这标志着自控所MEMS对德合作首期项目圆满完成。

    通过几年的合作,自控所研发MEMS陀螺仪的专业技术能力不断提升,MEMS陀螺仪专业技术能力已经处于国内领先水平。
    通过对德合作,自控所不仅收获了产品,同时还吸收技术并形成MEMS通用平台化能力。MEMS工艺技术与集成电路ASIC技术是MEMS陀螺合作项目中的两大核心技术。目前,自控所已经形成完整的湿法与干法两条标准MEMS工艺线,支撑了MEMS陀螺仪、MEMS加速度计和其他新型传感器的研发。同时,集成电路ASIC设计技术也在消化吸收德方技术的基础上逐步扩展应用,形成通用技术平台,为MEMS陀螺仪、MEMS加速度计等MEMS传感器完成功能、提升性能、扩展应用提供了强有力的支撑保障。
    在对德合作过程中,自控所MEMS技术平台还逐渐建立起一直接近30人的研发队伍,涉及MEMS传感器设计技术、MEMS工艺技术、集成电路ASIC设计技术等多个MEMS领域核心专业,为自控所在MEMS领域的后续发展培养了宝贵的人才。自控所MEMS技术平台不仅学习了对方先进的设计方法、设计流程,也学习了德方工作人员的创新思维方式,对今后的工作也提出了更高标准的要求。

    他山之石,可以攻玉,自控所与德国Fraunhofer ENAS已有十年以上的合作关系,合作的每一个项目都取得了成功。双方良好的合作关系也得到了上级部门的认可,在中航工业集团公司的支持下,中德联合实验室也已于2012年建立。现在“对德合作”首期项目已经圆满完成,放眼未来,新的合作项目已开始协商,也期待着我们能获得更大的收获,迈上更高的台阶!

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