单晶硅挠性加速度计

主要性能指标:

外形尺寸:25.4mm×25.4mm×28mm

重量:<60

测量范围:±36g

偏值重复性:<20ug

标度因数重复性:<10ppm

阈值:<0.5ug

带宽:>500Hz

l  工作温度:–45℃~85

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