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高精度MEMS加速度计
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单晶硅挠性加速度计
三轴一体光电加速度计
主要性能指标：
外形尺寸： 25.4mm×25.4mm×28mm
重量：<60克
测量范围：±36g
偏值重复性：≤20ug
标度因数重复性：≤10ppm
阈值：≤0.5µg
带宽：≥500Hz
工作温度：–45℃～85℃
单轴光电加速度计
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