高精度MEMS加速度计

高精度MEMS加速度计

单轴光电加速度计

主要性能指标：
 外形尺寸： 25.4mm×25.4mm×28mm
 重量：<60克
 测量范围：±36g
 偏值重复性：≤20ug
 标度因数重复性：≤10ppm
 阈值：≤0.5µg
 带宽：≥500Hz
 工作温度：–45℃～85℃