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单晶硅挠性加速度计
高精度MEMS加速度计
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高精度MEMS加速度计
三轴一体光电加速度计
主要性能指标:
外形尺寸: 25.4mm×25.4mm×28mm
重量:<60克
测量范围:±36g
偏值重复性:≤20ug
标度因数重复性:≤10ppm
阈值:≤0.5µg
带宽:≥500Hz
工作温度:–45℃~85℃
单轴光电加速度计
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